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1, photoresist
1.1 Aperçu de la résine photosensible
La résine photosensible résister également connu, est un procédé de photolithographie chimique clé, principalement en utilisant la réaction photochimique motif de fin souhaité transféré du réticule sur le substrat à traiter, un motif de fin est largement utilisé dans l'industrie de l'information optoélectronique ligne de fabrication, en aval principalement pour la microfabrication de circuits intégrés, des dispositifs discrets, et le panneau, tandis que dans le processus de production de la LED, photovoltaïque, des têtes et des capteurs de précision est également largement utilisé, est de matériaux critiques des techniques de microfabrication. Le composant principal de la résine de photoréserve, des monomères, des photoinitiateurs et des additifs ajoutés quatre. Dans lequel la résine est d'environ 50%, environ 35% de monomère.
Depuis 1959 résine photosensible a été inventé l'industrie des semi-conducteurs est devenu l'un des matériaux de traitement de base. Ensuite, résine photosensible est appliquée pour améliorer le processus de fabrication de la carte de circuit imprimé, PCB devient des matériaux de production importants. 90 ans au nom du XX e siècle, la résine photosensible a été appliquée à la fabrication d'écrans plats, à grande taille panneau d'affichage à écran plat, la technologie couleur haute définition a joué un rôle important dans la promotion. Dans le traitement de la fabrication de fines micro-électronique entre du micron, le niveau submicronique submicronique, au plus profond du processus de niveau nanométrique, la résine photosensible joue un rôle important.
Dans ce procédé, une technique de photolithographie a UV subi un spectre complet (300 ~ 450 nm), G-line (436nm), I-ligne (de 365 nm), l'ultraviolet profond (le DUV, 248 nm et comprenant 193 nm) et de l'ultraviolet extrême (EUV) six étapes . Correspondant à la longueur d'onde de chaque exposition de résine photosensible de phase ont vu le jour, le composant clé dans la formulation de résine photosensible, par exemple une résine formant un film, de la lumière directe
photoresist Ø g-line correspondant à la longueur d'onde d'exposition g-line de 436nm, la production de circuits intégrés à 0,5 um. longueur d'onde d'exposition i-line de 365nm résist correspondant à la raie i, de fabrication d'un circuit intégré de 0,5 à 0,35 m. photoresists ligne g et i-ligne utilisés sur le marché actuellement le plus grand photoresist positif sont en plastique, la principale matière première pour la résine phénolique et le composé naphtoquinone diazide.
Ø longueur d'onde d'exposition de 248 nm KrF résist correspondant à une source de lumière laser KrF, 0.25-0.15 m fabrication d'un circuit intégré, la réserve positive et négative résister a, la matière première principale est un copolymère styrène hydroxy poly et ses dérivés et le photo-acide . KrF résister marché à l'avenir d'étendre progressivement.
Ø photoresist ArF correspondant à une longueur d'onde d'exposition de la source de lumière laser à 193 nm ArF, la production ArF sec de circuits intégrés 65 à 130 nm, procédé par voie humide ArF peut correspondre à la fabrication du circuit intégré 45 nm ou moins. photoresist ArF est un photorésist positif, la principale matière première est une acrylates de polyester cycloaliphatique et des copolymères et générateur d'acide photo. marché de résine photosensible ArF va croître rapidement dans l'avenir.
1.2 processus patterning utilisation principale de photorésists
L'industrie des semi-conducteurs, par exemple, est principalement utilisé pour semi-conducteurs résister processus de formation de motif. Procédé patterning est le procédé de base de procédés de fabrication de semi-conducteurs. des images graphiques peuvent être facilement compris en tant que modèle transféré du réticule à la surface de la tranche emplacement approprié. En règle générale, modeler et graver deux étapes principales dont la photolithographie, respectivement, pour réaliser une transition entre le réticule de la résine photosensible, et la résine photosensible à motif de la couche de surface de la plaquette est une à deux étapes, le processus est généralement divisé en dix étapes: 1 la préparation de surface, revêtement 2, la cuisson douce 3., 4. l'alignement et l'exposition, le développement 5, 6. cuire dur, 7. examen d'imagerie, 8. 9. gravure résine photosensible est retirée, 10 finale inspection.
Plus précisément, d'une part avant le nettoyage de la surface de la plaquette pour la photolithographie, principalement liés à la chimie par voie humide, y compris l'acétone, le methanol, l'alcool isopropylique, l'eau de l'ammoniac, le peroxyde d'hydrogène, l'acide fluorhydrique, le chlorure d'hydrogène. Après que la couche de résine photosensible de nettoyage de tranche par enduction centrifuge et un transfert ultérieur au four pour le revêtement de surface dans la machine de lithographie. Après le réticule et la plaquette pour un alignement précis de la lumière projetée à travers un motif de réticule sur le réticule sur la résine photosensible exposée mis en oeuvre, ce procédé principalement réticules, résine photosensible, la résine photosensible et le support correspondant gaz et chimie humide. Après l'exposition de la résine photosensible est développée pour vérifier et re-cuisson et après la première fois pour obtenir le motif graphique est transféré du réticule à la résine photosensible. Sous la protection de la résine photosensible, la gravure de la plaquette pour le décapage ultérieur de résine photosensible est ensuite inspecté, pour réaliser le transfert du motif de la résine photosensible à motif de la seconde plaquette. L'approche traditionnelle actuelle est de gravure plasma de gravure à sec, utilisé principalement le fluor et le gaz contenant du chlore.
Parmi les procédés de fabrication de semi-conducteurs actuellement grand public, nécessite généralement plus de 40 photolithographie étapes étape distincte, le degré élevé de pénétration à travers l'ensemble du processus de fabrication d'un procédé de lithographie de semi-conducteur détermine la sophistication d'un processus de fabrication de semi-conducteur. Les procédés lithographiques utilisés dans la fabrication de machine de lithographie de semi-conducteur est l'équipement de base. À l'heure actuelle, ASML dernière NXE3400B au prix de plus de cent millions d'euros, comparable à un chasseur F35.
1.3 classement resist
Effets affichées par la résine photosensible, peut être divisé en résine photosensible positive et négative résine photosensible, la partie non exposée est dissoute dans la solution de développement si elle est développée pour former le contraste du motif de masque, connu sous le nom de résine photosensible négative ; le développement de la partie exposée est dissoute dans le révélateur si le même motif formé sur le masque, appelé résine photosensible positive.
Photoresist après des décennies de développement continu et de progrès, les applications continuent à se développer, dérivé d'un très grand nombre d'espèces, selon les applications, la résine photosensible peut être divisé en types principaux suivants et variétés.
2 resist espace marché
2.1 résister à la demande croissante
Dans le semi-conducteur en aval, LCD, PCB et d'autres industries continuent à se développer à la demande induite, résister marché continuera à se développer. 2018 résine photosensible taille du marché mondial de 8,5 milliards $, 2014-2018 taux de croissance annuel composé d'environ 5%. Selon IHS, la croissance future devrait maintenir résister composite 5%. Application selon l'aval, le courant de la résine photosensible semi-conducteurs ont représenté 24,1%, ce qui représente résine photosensible LCD 26.6%, ce qui représente PCB pour 24,5% de la résine photosensible, la résine photosensible d'autres types représentant 24.8%.
Avec les industries semi-conducteurs mondial, l'écran LCD et de l'électronique grand public au transfert interne, l'augmentation rapide de la demande intérieure de la quantité de résine photosensible. 2011-2017, résine photosensible de la demande intérieure taux de croissance composé de 14,69% à la fin de 2017 a atteint 79.900 tonnes, la taille du taux de croissance composé de résine photosensible du marché intérieur de 11,59% à la fin de 2017 a atteint 5,87 milliards de yuans. Du point de vue de la production, notre production de résine photosensible pays 2017 a atteint 75.600 tonnes, 2011-2017 taux de croissance composé de 15,83%, la production nationale a atteint 44.100 tonnes résistent, 2011-2017 TCAC de 11,87%. La Chine se concentre actuellement sur les zones de PCB de résine photosensible, les barrières de haute technologie de résine photosensible LCD et semi-conducteurs reposent principalement sur les importations.
2.2 résister à la concurrence
l'industrie photoresist en raison des fortes barrières techniques et de coopérer avec la recherche et le développement des équipements de lithographie, montrant un modèle de concurrence oligopolistique. Le Japon est actuellement parmi les cinq premiers du caoutchouc synthétique du monde, Tokyo au Japon, Rohm and Haas, Shin-Etsu et Fuji Electronic Materials ont représenté 87% des parts du marché mondial. La Chine est actuellement résine photosensible PCB est arrivé à maturité relativement, les grandes entreprises, y compris Guangdong International Trust et matériaux, permettent un grand sens de la lumière et ainsi de suite. Dans la résine photosensible LCD dans le domaine des semi-conducteurs, les fabricants nationaux et étrangers écart est encore grand.
3 classement resist
photoresist 3,1 à semi-conducteur
Le marché des semi-conducteurs est une croissance soutenue au cours des dernières années, 2012-2018 taux de croissance annuel composé de 8,23 pour cent. Parmi eux, le volume des ventes de Chine continentale IC a augmenté rapidement de 215,8 milliards de yuans à 653,1 milliards de yuans en 2018, un TCAC de 20,27%, dépassant de loin le reste du monde, l'industrie des semi-conducteurs pour accélérer le transfert vers le continent. En général, divisé en conception de circuits intégrés, la fabrication et l'emballage et de tester trois sous-secteurs, et dans la fabrication des industries d'emballage et d'essai, qui ont besoin de beaucoup de soutien de nouveaux matériaux semi-conducteurs.
2018 valeur du marché mondial des matériaux semi-conducteurs de US $ 51,94 milliards, soit une augmentation de 10,68%. Dans lequel les matériaux de fabrication de plaquettes et de matériaux d'emballage ont été de 32,2 milliards $ et 19,74 milliards $, en hausse de + 15,83% et + 3,30%. 2018, dans les matériaux de fabrication semi-conducteurs valeur marchande de 322 milliards de dollars, la grande plaquette, des gaz spéciaux, un photomasques, le matériau CMP, résine photosensible, résine photosensible à l'appui, la chimie humide, ce qui représente la cible de 33% , 14%, 13%, 7%, 6%, 7%, 4%, 3%. Sur le plan régional, les matériaux semi-conducteurs continentale taille du marché 8,3 milliards de dollars, ce qui représente 16% du monde, en second lieu seulement à la Chine Taiwan et la Corée du Sud, la troisième plus grande région de matériau semi-conducteur du monde.
Avec le développement rapide de l'industrie des semi-conducteurs, nous résistons le marché des semi-conducteurs continue de croître. 2018 la taille du marché mondial du semi-conducteur résine photosensible 2.029 milliards de dollars, soit une augmentation de 15,83%. Parmi eux, la Chine a représenté la plus grande proportion échelle de résine photosensible à semi-conducteurs atteint 32%. Suivi par la région Amériques, sa part de la taille du marché mondial du résist est de 21%. région Asie-Pacifique a suivi, la proportion de la taille totale du marché mondial du résist est de 20%. Europe, plus la proportion du Japon, il est d'environ 9%.
Balle semi-conducteurs taille du marché de résine photosensible de 2.029 milliards de dollars, soit une augmentation de 15,83%. Parmi eux, la Chine a représenté la plus grande proportion échelle de résine photosensible à semi-conducteurs atteint 32%. Suivi par la région Amériques, sa part de la taille du marché mondial du résist est de 21%. région Asie-Pacifique a suivi, la proportion de la taille totale du marché mondial du résist est de 20%. Europe, plus la proportion du Japon, il est d'environ 9%.
À l'heure actuelle, les fournisseurs de semi-conducteurs mondiaux résistent encore des sociétés étrangères, principalement les fournisseurs sont le Japon en caoutchouc synthétique, Tokyo au Japon, Rohm and Haas, Shin-Etsu et du matériel Fuji. La Chine est actuellement le principal fournisseur de céréales, y compris les actions suisses (Suzhou Ruihong), Direction générale de Beijing, et ainsi de suite.
Suzhou Ruihong: en 1993, a commencé la production de résine photosensible, un engagement national pour les grands projets scientifiques et technologiques 02 projets spéciaux « i ligne de développement de produits de résine photosensible et de l'industrialisation », la production actuelle résine photosensible i ligne, résine photosensible KrF dans le développement processus.
Pékin Kehua: résine photosensible i-ligne est déjà en production de masse, résine photosensible KrF a SMIC et d'autres entreprises bulk approvisionnement, résine photosensible ArF sec a été dans la recherche et le développement et la phase d'authentification du client.
Sud photoélectrique: en 2017 a commencé à développer des « projets de résine photosensible 193nm, » et l'Etat « 02 spécial » Li article. Les plans d'entreprise pour construire la résine photosensible de 25 tonnes en zone de développement économique Ningbo, devrait à trois ans de la production et les ventes.
résine photosensible 3.2LCD
marché du panel mondial a augmenté de façon constante, le transfert de la capacité de production sur le continent qui a donné naissance à la croissance de la demande LCD de résine photosensible. IHS 2019, selon les données publiées en Juin 2019, l'affichage global écran plat LCD TFT et OLED capacité globale d'environ 334 millions de mètres carrés, 2023 devrait atteindre 375 millions de mètres carrés, dont, panneau LCD TFT capacité du marché d'environ 3,09 millions de mètres carrés, la future demande va croître de façon constante. Selon les données IHS, en 2018 la capacité de production LCD continentale a atteint ont représenté 39%, la capacité de production est attendue en 2023 la Chine a représenté 55% de la capacité mondiale totale.
écran LCD résine photosensible d'expansion des capacités de production à promouvoir la croissance de la demande. Avec le transfert de la capacité mondiale de production de panneaux en Chine continentale, photorésists LCD demande montrant une croissance rapide. Selon Cinno Research estime qu'en 2022 la résine photosensible positif TFT continentale Array (y compris substrat LTPS) la demande atteindra 18.000 tonnes, la couleur résister à la demande de 1,9 millions de tonnes, un noir résister à la demande de 4100 tonnes, la production devrait résister jusqu'à 1,56 milliards de dollars.
Notre résine photosensible LCD à ses débuts. Depuis le début des années 1990, la résine photosensible est utilisé pour la fabrication des écrans plats, le panneau de la grande taille, la couleur, le développement de haute fin a joué un rôle important. panneaux légers en caoutchouc gravé (photoresist LCD) est divisé en couleur et noir résine photosensible, l'entretoise LCD / TP photorésist (à savoir, un écran tactile en utilisant la résine photosensible) et matrice TFT résine photosensible positive. Depuis que la Chine a commencé à la fin de LCD résister, l'ensemble est encore aux étapes préliminaires de développement, avec des entreprises étrangères ont un grand écart entre la résine photosensible LCD courant est toujours compter principalement sur les importations.
Couleur et noir résistent: principalement utilisé pour les filtres de couleurs pour obtenir l'affichage des couleurs sur l'écran LCD est critique . Le panneau de filtre de couleur de 14% -16% du coût total, et la couleur noire photoresist représentaient 27% du coût d'un filtre de couleur, dans lequel le noir représente 6% à 8% de la résine photosensible, la masse de résine photosensible elle affectera directement les performances du filtre couleur. Un substrat de verre un filtre de couleur, une matrice noire, une couche de couleur, une couche de protection, et le film conducteur ITO. Couleur Layer (couleur) composé principalement de trois couleurs primaires, respectivement, d'un revêtement de résine photosensible, l'exposition, le développement de la composition, le filtre de couleur est la partie la plus importante. Une matrice noire (Black Matrix, dénommé BM) est un modèle d'une composition de résine photosensible noire, la fonction pour empêcher une fuite de lumière.
Couleur et de la technologie de base de résine photosensible noir monopolisé par les entreprises japonaises et coréennes . technologie de base de résine photosensible LCD réside dans la préparation et la production de peinture polymère, maintenant la technologie est principalement entre les mains des fabricants de peinture japonais tels que Ciba, le marché des photorésists LCD monopolisé par les entreprises japonaises et coréennes, qui produit principalement résine photosensible couleur Les fournisseurs ont JSR, Sumitomo Chemical, Mitsubishi Chemical, LG chimiques et d'autres entreprises, principalement des fabricants de résine photosensible noir ont Tokyo Ohka, chimiques Nippon Steel, chimiques et d'autres sociétés Mitsubishi, plusieurs ont représenté 90% de la production mondiale.
résine photosensible positif Array TFT: les goulots d'étranglement techniques limitant le développement de TFT-LCD haut de gamme . TFT matrice segment de matrice de photorésist positif principalement pour le processus de fabrication TFT-LCD, le transfert de motif dominant dessins TFT qui résolution, la stabilité thermique, la membrane d'entraînement, négatif résistant à la gravure photoresist capacité supérieure. Comme le TFT-LCD FFS, IPS, LTPS autres technologies de gamme de haut, les exigences sur le panneau de l'amélioration continue de la résine photosensible positive, le développement comprend une sensibilité, haute résolution, l'uniformité du revêtement résine photosensible devient impératif.
La plupart résine photosensible Array TFT positif compter sur les importations. TFT grands fabricants de résine photosensible positive sont le Japon Tokyo Ohka (TOK), Rohm and Haas (Rohm & Haas), AZ Corée et DONGJINSEMICHEM, Everlight Chemical.
les entreprises chinoises à résister activement la mise en page du marché LCD. Face à la possibilités intérieure expansion de la capacité de production d'écrans LCD, les entreprises chinoises à accélérer la mise en page du champ de photorésists LCD, Bo Yan Electronics depuis 2014 sur la création du Centre commun de recherche et du Nord, et de promouvoir le développement de résine photosensible noir et de l'industrialisation, et possède maintenant 1000 tonnes / an noire capacité de résister, ont réussi à briser le monopole des pays étrangers. North Asahi Electronics est une filiale en propriété exclusive de BOE, 2019 prévoit d'investir 500 millions de yuans dans Gedian, principalement la production de TFT-LCD avec résine photosensible, résine photosensible semi-conducteur, PI et les produits de film isolant organique.
4 sociétés liées
Technologie Jacques 4.1
L'acquisition de la couleur LG entreprise en plastique, dans le champ de résine photosensible. 202026 Février la société a annoncé la signature d'un « accord de transfert d'entreprise » avec LG sud-coréen chimique, une partie de la résine photosensible Immobili- d'achat couleur Division de LG Chemical, filiale de la Corée du Sud. 2019, les actions de la société Côte du Jiangsu nouveau matériel américain à hauteur de 10% dans l'entité d'exploitation de la société est une société Corée du Sud Cotem, COTEM Corée du Sud Gyeonggi Province, les principaux produits sont TFT-PR et résistent à des matériaux auxiliaires (solution de développement, la solution de nettoyage, etc.) , résine BM et similaires. La société est actuellement impliquée dans la gestion de la production de la Corée du Sud COTEM société et LG Display forment une relation d'affaires à long terme. L'acquisition de LG Chem couleur division plastique, la société résistera contrôle à la fois la couleur et la technologie de résine photosensible TFT-PR, les processus de production et les ressources des clients de renommée mondiale grande, et devenir un affichage fournisseur LG à long terme pour devenir le leader du monde panel de fournisseurs résine photosensible.
nouvelle plate-forme de développement de matériaux de formation déjà. Comme la société de nouvelles entreprises de matériaux semi-conducteurs, couvrant une pluralité de plaquette électronique de fabrication, la fabrication, et d'autres panneaux de fabrication, en particulier les produits comprenant un précurseur de matériau semi-conducteur, un matériel isolant d'isolation de tranchée peu profonde à semi-conducteur, des gaz spéciaux électroniques et d'autres matériels électroniques poudre de silice sphérique et des panneaux de fournitures d'art et un semi-conducteur avec un équipement de distribution de liquide chimique. L'acquisition de l'entreprise de résine photosensible LG, la société améliorera encore la mise en page des documents électroniques affaires et des synergies opérationnelles avec le développement existant, de créer une nouvelle plate-forme de matériaux.
4.2 parts Jing Rui
i ligne leader semi-conducteurs de résine photosensible, la future force de mise au point 248nm. Une filiale de la société suisse Suzhou rouge profond dans le domaine de résine photosensible pendant de nombreuses années, le premier à atteindre la production de volume de résine photosensible I en ligne peut être atteint résolution 0.35m. l'avenir l'accent sur le 248nm de développement de l'entreprise, se concentrera sur le développement des entreprises connexes.
Le mélangeur chimique semi-conducteur mouillé. société semi-conducteurs avec les principaux produits chimiques humides, qualité peroxyde d'hydrogène de qualité des produits concurrents peuvent atteindre le niveau de qualité 10 ppt, a atteint le G5 niveau avancé international, est maintenant disponible à Hong Huahong vigueur et d'autres fabricants de semi-conducteurs. l'acide nitrique de l'entreprise, l'acide fluorhydrique, l'ammoniaque, l'acide chlorhydrique, l'isopropanol, et d'autres produits a atteint G4 niveau. Yang Heng Chemical Company a acquis, et l'introduction de la technologie Mitsubishi Chemical, investir dans un nouveau projet d'acide sulfurique de qualité électronique 90.000 tonnes / an, ouvrir une nouvelle salle pour la croissance.
liant batterie au lithium-ion au profit du développement à grande échelle de nouveaux véhicules d'énergie . Nos principaux produits sont négatifs SBR adhésif à base d'eau, les principaux clients sont BYD, Lishen, ère Ningde d'une nouvelle énergie, et d'autres bien connus des fabricants de batteries au lithium de puissance Kazakh Guangyu, bénéficier de l'apparition de nouveaux véhicules d'énergie, liant d'électrode négative au lithium domestique devrait maintenir le taux de croissance élevé de croissance. La société a l'intention d'émettre des actions et payer comptant pour le transport de yuans pour envoyer Mandelson 100% du capital, a été approuvé par le SFC. Ajouter yuans pour envoyer Mickelson a un équipement de co-production NMP / GBL Ge, les principaux produits de NMP et GBL, largement utilisé dans l'aval batterie au lithium, de nouveaux matériaux, de la médecine et d'autres sociétés cotées en bourse dans l'industrie de la batterie au lithium avec la planification de la mise en page cohérente.
4.3 matériau Feikai
Robinet mixte à cristaux liquides. Les filiales et pour afficher un important fournisseur de haut de gamme domestique et mi-TFT TN / STN matériaux à cristaux liquides, les clients en aval comprennent BOE, le pouvoir Huaxing et Panda et les fabricants de panneaux de taille moyenne de la Société. industrie du panneau LCD pour bénéficier du transfert vers le continent, la demande intérieure pour les matériaux à cristaux liquides TFT de volume rapide lourd.
Promouvoir activement les photorésists TFT . La société a continué de promouvoir le projet TFT photorésists, à partir de 2019 rapport semestriel a investi un total de 54.070.000 yuans, en hausse de 93,22 pour cent des progrès du projet. La société active de la coopération extérieure, accélérer considérablement le travail de développement du marché industrie TFT-LCD, produits résine photosensible, la formation de l'entreprise dans l'industrie TFT-LCD nouveau pôle de croissance des bénéfices le plus tôt possible;
L'industrie des semi-conducteurs a continué la mise en page, l'avenir devrait devenir un nouveau point de croissance. La société dans le domaine des semi-conducteurs a poursuivi la mise en page, a acquis le fabricant du composé de moulage époxy électricité Changxing Queensland et les paquets avec billes de soudure grandes entreprises technologiques suisses. La société a commencé à partir du domaine de l'emballage des semi-conducteurs et d'essais, ont continué système de mise en page des clients de haute qualité (ASE, Amkor, etc.) des entreprises dans le domaine des matériaux d'emballage semi-conducteurs variété d'enrichir en permanence l'entreprise continuera d'intégrer l'utilisation des ressources, l'avenir devrait continuer d'exercer.
« Affichage + matériau semi-conducteur » peep entreprises de la plate-forme. Il est clair que le plan général de développement de la société, principalement autour de la « Display + matériau semi-conducteur » dans le domaine, sont installés dans le cristal liquide mixte, l'encapsulation des billes de soudure, l'encapsulation composé de moulage époxy, la solution de placage, et d'autres produits. Pour l'avenir, la société continuera d'intégrer les ressources existantes, il devrait faire jouer pleinement les synergies entre les différents domaines, cultiver constamment de nouveaux points de croissance.
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(Rapport Source: Thaïlande Securities)
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