La Chine a marqué le début des progrès importants noyau! projet « Super-résolution développement d'équipements de lithographie » est passé. Cela signifie que la Chine a « première résolution super-résolution du monde de la plus haute équipement de lithographie UV. »
Lithography, l'équipement de base de fabrication de puce. Dans le passé, l'industrie des puces électroniques de la Chine a été limitée par divers INTERDITE étrangers. Pour cette percée, les experts ont souligné que « la source lumineuse de lithographie à longueur d'onde de 365 nm, la plus haute largeur de la ligne de résolution d'exposition unique de 22 nm. Projet révolutionnaire de résolution diffraction limitée en principe, la mise en place d'une haute résolution, de grande surface la recherche et l'équipement de nanolithographie développement de nouvelles routes, en contournant les barrières de propriété intellectuelle liés à l'étranger ".
lithographie naissante en utilisant la source de lumière de longueur d'onde 365 nm, dans le cadre de l'ultraviolet proche. Lithography souvent à la recherche pour les petits nano-technologie, la source la plus largement utilisée la lumière de lithographie à l'étranger est de 193 nm de longueur d'onde externe laser ultraviolet profond, la résolution lithographique est seulement 38 nanomètres, environ 0,27 fois la longueur d'onde de l'exposition. Et cela peut se faire 22 nm lithographie. Est une longueur d'onde de moindre coût lumière ultraviolette proche, pour obtenir une lithographie de haute résolution.
À cet égard, CCTV a également donné des notes élevées, « équipements de lithographie de super-résolution mise en uvre harmonieuse du projet, brisant le monopole étranger dans le domaine des équipements de lithographie haut de gamme, offrant une nouvelle façon de résoudre le traitement des nano-optique, mais aussi pour les nouveaux génération de technologies de l'information, de nouveaux matériaux, bio-médical et d'autres domaines de la technologie de pointe de la stratégie, des infrastructures et de la défense et de la sécurité frontalière fournit l'appui technique de base ».
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