L'interaction entre l'homme et la nature, les gens à travers la rivière pour explorer l'histoire des étendues infinies naturelles sans fin. Comme nous le savons tous, la vitesse de la lumière est le monde matériel que nous avons pris contact avec la plus extrême vitesse, la chasse devient lumière extrêmement inspirante, mais est hors de portée des êtres humains la capacité de le faire. Dans les mythes anciens et les légendes de Kua Fu, Braggadocio finale « avant l'arrivée, dit-elle avec la soif », mais cet esprit a été passionnant.
Avec le développement rapide de la technologie moderne, les humains peuvent déjà faire maintenant contrôler efficacement la lumière, peut même laisser une empreinte légère, faisant apparaître dans le champ microscopique de la vision. Par exemple, il est appelé de machines-outils de fabrication lithographie ère de l'information, la sagesse humaine est sous le concours de lumière.
Institut Académie chinoise des sciences de l'optique développé dans la machine de lithographie ultraviolet
Quel est le « vaisseau-mère »? Tout d'abord est certainement pas « combattant de la poule » était. Il fait référence à une machine-outil mère utilisé pour fabriquer des outils. Quelle est la base de l'âge de l'information est que la puce! Et il fabrique les machines-outils de lithographie à puce, la fabrication de machines-outils peut appeler l'ère de l'information.
Le développement de la société humaine est indissociable du progrès des outils de fabrication
Nous devons d'abord de ses bénéfices. L'humanité de l'âge de pierre, l'âge du fer, l'âge de la machine, à l'ère actuelle de la technologie de l'information, a toujours été indissociable des progrès dans la fabrication d'outils. Révolution industrielle, par exemple, dans l'ère industrielle, la science et la technologie ont contribué au développement de quatre révolution industrielle, les outils de production doivent progresser en tant que symbole: la première représente la révolution industrielle a été le moteur à vapeur, une machine au lieu de la main, le deuxième logo la révolution industrielle est un moteur à combustion interne, la puissance est largement utilisé, la troisième révolution industrielle est marquée par ordinateur, les circuits intégrés sont puce largement utilisés est la base de l'ordinateur, quatrième révolution industrielle est l'ordinateur et l'Internet, la mise en réseau, les communications mobiles , le réseau est largement utilisé, la puce est encore la fondation.
Pour résumer, la société humaine a connu avant l'ère industrielle, l'ère industrielle et l'ère post-industrielle. ère post-industrielle, y compris l'industrie actuelle 3.0, 4.0 industriels, des machines-outils sont la lithographie manufacturée , qui Outils à main équivalents à l'ère industrielle, l'ère pré-industrielle .
Mais le personnel, les différents outils primitifs tels que les machines-outils, À la lumière de l'outil lithographie . Parce que la longueur d'onde de la lumière est très courte, typiquement de l'ordre d'une centaine de nanomètres, de sorte que l'outil de lithographie est extrêmement forte, l'industrie est appelée résolution de lithographie. processus de photolithographie est extrêmement complexe. En exposant d'abord le substrat revêtu de résine photosensible, le motif original est formé après le développement, la structure est alors formée par une couche de film mince, la gravure, l'implantation ou analogue, et ensuite exposée à travers un gommage et d'enregistrement, et le développement de films, la gravure, le processus d'implantation de forme une seconde structure N-couche jusqu'à ce que la structure de couche. puce complexe nécessite des centaines de milliers de canaux et processus de recouvrement, des centaines d'équipements pour terminer, on peut dire processus très complexe, la structure ultra-fine - diamètre des cheveux d'environ 80 microns, et le plus avancé machine de lithographie peut atteindre la capacité de traitement de 22 nanomètres, le diamètre des cheveux 1/3600, des structures complexes peuvent être traités surface des cheveux!
Dynastie Ming « nucléaire Zhou Ji » se lit comme suit: « Ming Wang Shu dit qu'il y avait des gens de rusés, capables d'arbres pouces de diamètre pour le palais, les ustensiles, le nombre de caractères ...... passer un bateau, et ses cinq à huit fenêtres pour la verrière en bambou, pour la rame, comme cuisinière pour les pots, il est roulé à la main, un pour le chapelet; ........ rire, la technologie aussi des hommes étranges esprit saint « et le processus de lithographie peuvent être des » volumes Trois Royaumes » de plus de 100 millions de mots! 0.1mmX0.1mm facilement gravé sur la base, son Wang Shu technique billion de fois trop!
la structure hyperfine et très complexe, en fait, afin de répondre aux besoins complexes de la vie humaine et la fonctionnalité souple de la puce. machine de lithographie fabriquer la puce (dispositif ou système), a largement utilisé dans les écrans plats, les télécommunications, l'ordinateur, l'aérospatiale, biomédicale, etc. Son omniprésente influence et toute-puissante.
Dans les choses quotidiennes communes à titre d'exemple: la lumière LED est verte d'économie d'énergie et protection de l'environnement, qui est usiné par photolithographie de micro- et nanostructures (P, jonction N) la sortie de la lumière, la raison TV, les téléphones mobiles, les ordinateurs peuvent afficher diverses images à partir de la machine de lithographie est usinée dans le panneau interne correspondant à chaque pixel de la pluralité de micro et nanostructures; ordinateur est une lithographie par expression concentrée, CPU, la mémoire, la carte mère, cartes, etc. sont traitées lithographie produit, il a bénéficié des progrès de la technologie de lithographie (réduction de la taille de traitement minimum), ce qui rend notre processeur plus rapide et plus rapide, de plus en plus de mémoire, savoir la raison pour laquelle la température de climatisation auto, ceintures de sécurité attachées, la porte si fermé, la vitesse actuelle du véhicule, du carburant et ainsi de suite, est dérivé d'une variété de capteurs en utilisant des techniques photolithographiques de micro-usinage, le robot a été capable de terminer l'opération complexe, il est traité par des commandes de la machine de lithographie différentes puces, capteurs, contrôle de mouvement, nano usinées à l'aide des micro-aiguilles de photolithographie peut être injection sans douleur, douleurs ...... soulagent les applications de lithographie abondent dans la vie moderne.
Il peut être divisé en contact lithographie lithographie de proximité, la lithographie à écriture directe, lithographie de projection, et trois catégories. Infiniment proche par contact, une plaque de masque de transfert de motif; lithographie par projection objectif de projection en utilisant la structure de plaque de masque projeté à la surface du substrat, et l'écriture, le faisceau est focalisé en un point, ou par le mouvement de la table porte-pièce lentille de balayage arbitraire graphiques de traitement. La lithographie par projection optique en raison de son rendement élevé, l'avantage de non invasive, a été le courant principal d'une lithographie de circuits intégrés.
Projection exposition lithographie une caméra d'imagerie de principe similaire, les images existantes sont imagés sur le support d'enregistrement, la différence est enregistrée par la caméra est une vue extérieure, et l'image est basée sur le réticule de lithographie; élément photosensible à l'aide du stockage de l'appareil photo support d'enregistrement de données la lumière, le substrat est une machine de lithographie. La différence est plus central, la taille de caractéristique minimale de la machine de formation d'image de lithographie 22 nm, tandis que l'appareil est seulement d'environ 8 microns, la capacité de distinguer le détail de la machine de lithographie 360 correspond à la fois de l'appareil photo; 12 pouces lithographie machine capable de traiter un substrat, et Le plus grand taille de cellule imagerie par caméra 36mm × 24mm seulement.
La technologie a été Lithography la poursuite de la capacité de l'information et de la densité plus élevée de fonctionnalité supérieure. Grande surface, à haute résolution de la lithographie en trois dimensions et photolithographie est une tendance majeure. Notre télévision plus, ordinateurs plus rapides, ne peut pas se développer sans la lithographie. Haute résolution circuit intégré est un objectif important de poursuivre, mais la lithographie traditionnelle est limitée par la limite de diffraction sans exception, la longueur d'onde lumineuse mentionnée ci-dessus est très court, mais est malheureusement pas nul, ce qui détermine la longueur limitée la lumière comme un outil, la lame de son épaisseur minimale, que l'ordre de la longueur d'onde de la lumière. Bien que les efforts depuis de nombreuses années, il a été possible de l'épaisseur de la lame du couteau est nettement plus petite que la longueur d'onde, mais de plus en plus difficile à passer.
À l'heure actuelle, l'Académie chinoise des sciences, Institut de technologie photovoltaïque pour contourner la route traditionnelle exposition de 193 nm, en utilisant une lampe au mercure 365nm source de lumière obtenu une percée dans la résolution graphique limite de diffraction, une image unique peut atteindre 22 nm. 2016, une équipe de Lawrence Berkeley National Laboratory pour briser les limites physiques, le plus processus de fabrication de transistor à pointe fine originale de 14nm jusqu'à 1 nm.
présente l'âge de l'information nous est non seulement le peuple de jeu avec une variété de limites physiques, plus scientifiques du monde entier pour se défendre contre la loi de Moore et se font mutuellement concurrence. Vous êtes intéressé à participer au défi?
